Очистить семафоры apache

Ошибка при запуске apache:
[emerg] (28)No space left on device: Couldn't create accept lock (/var/lock/apache2/accept.lock.12963) (5)

Смотрим сколько семафоров занято
ipcs -s | awk '/apache/ {print $2}'

Очищаем семафоры
for i in `ipcs -s | awk '/apache/ {print $2}'`; do (ipcrm -s $i); done


Вообще, выше чем в Debian 7 (и, возможно, CentOS 6) ошибку не встречал, скорее всего в современных системах и свежих версиях apache проблему исправили